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Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
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精密測定機器および産業検査用断熱性能アルミナセラミックベース

製品詳細

起源の場所: 中国製、浙江省、金華省

ブランド名: Dayoo

証明: GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015

モデル番号: 実際の製品に依存します

支払いと送料の条件

最小注文数量: 交渉され合意されたとおり

価格: As Negotiated and Agreed

パッケージの詳細: カートン、木箱

受渡し時間: 実際の製品に依存します

支払条件: FOB

供給の能力: 工場

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ハイライト:

スパールアルミナ製品

,

スパール型アルミニウム製品

最高動作温度:
1700°C
曲げ強度:
350 MPa
誘電損失:
0.0002
方法:
Lsostatic Presure
寸法許容差:
±0.001 mm
被削性:
難しい
機械的強度:
高い
抗張力:
200 MPa
タイプ:
アルミナセラミック部品
サイズ:
カスタマイズされた
誘電率:
9.8
表面仕上げ:
ポリッシュ
熱膨張係数:
8.5 x 10^-6 /k
材料:
99.5%アルミナ粉末
材料:
95%のアルミナの粉
材料:
≥95% アルミナ粉末
最高動作温度:
1700°C
曲げ強度:
350 MPa
誘電損失:
0.0002
方法:
Lsostatic Presure
寸法許容差:
±0.001 mm
被削性:
難しい
機械的強度:
高い
抗張力:
200 MPa
タイプ:
アルミナセラミック部品
サイズ:
カスタマイズされた
誘電率:
9.8
表面仕上げ:
ポリッシュ
熱膨張係数:
8.5 x 10^-6 /k
材料:
99.5%アルミナ粉末
材料:
95%のアルミナの粉
材料:
≥95% アルミナ粉末
精密測定機器および産業検査用断熱性能アルミナセラミックベース

断熱性能 アルミナセラミックベース 精密測定装置と産業検査

 

これらのアルミナセラミックサポートベースは,半導体,光学,精密測定機器のために特別に設計された99.6%高純度Al2O3材料を使用して製造されています.超高平面性 0 がある.01mm/mと熱膨張係数7.2×10−6/°Cで,製品は極端な温度 (-60°C~1500°C) と真空環境 (≤10−8Pa) で例外的な寸法安定性を維持しています.

 

主要な応用分野

  • 半導体機器: リトグラフィー ワッフル ステージ,エッチング 炉室 ベース

  • 精密光学:レーザーインターフェロメーター参照プラットフォーム,宇宙望遠鏡の鏡の固定装置

  • 分析装置:電子顕微鏡サンプルステージ,質量スペクトロメーターイオン源支柱

  • 産業検査:CMM機械基板,丸みテスト回転台

  • 新しいエネルギー: 燃料電池スタックサポート,太陽光発電のコーティング装置のキャリア

 

性能メリットマトリックス

特徴 テクニカル仕様 応用価値
熱安定性 ΔL/L<0.001%/°C 熱漂流の誤りを排除する
バキューム互換性 排気速度<10−11Pa·m3/s 超高真空を維持する
メカニカル 強さ 折りたたみ強度>400MPa 変形なしの精密部品をサポートする
断熱性能 容量抵抗>1016Ω·cm 電気漏れ干渉を排除する

 

テクニカル仕様

パラメータ 標準型 高精度型
物質 の 清潔さ 990.6% Al2O3 99.9% Al2O3
平らさ ≤0.02mm/m ≤0.005mm/m
表面の荒さ Ra0.1μm Ra0.025μm
熱膨張係数 7.5×10−6/°C 7.2×10−6/°C
バキューム漏れ率 <10−10mbar·L/s <10−11mbar·L/s

 

精密製造プロセス

  1. 粉末加工: 0.1μm 高純度粉末でスプレー粒化

  2. 形成 プロセス: 単位圧圧 (300MPa) とCNC緑加工を組み合わせた

  3. シンテリング技術: 水素大気中の1700°Cのグラディアントシンタリング

  4. 精密加工:

    • 5軸の磨き (±0.002mm)

    • マグネトリオロジカル・ポーリング (表面精度 λ/20@632.8nm)

  5. クリーンルーム処理: 100級クリーンルームで組み立てが完了

  6. 完全検査:レーザー干渉計+CMM 完全次元検査

 

設置ガイドライン

  • 設置要件:
    ✓ トークスレッチを使用する (推奨値 1.5±0.2N·m)
    ✓ 専用のクリーンルームのツールを使用
    ✓ 推奨される熱マッチング前調整 (温度グラディエント <2°C/min)

  • 環境 の 制限:
    塩化水素 に 接触 する こと は 避ける
    熱ショック >200°C/分を避ける
    ◎ 連続性1600°C以上の酸化環境には適さない

 

奉仕へのコミットメント

  • 技術支援: 無料のFEAストレス分析

  • 迅速 な 対応: 72時間速報サービス

  • 追跡管理: 10年間の完全な生産記録

  • 認証支援:提供されたSEMI/FDA/ISO認証文書

 

よくある質問

Q:シリコンカービッド部品との熱マッチングをどのように保証しますか?
A: CTE グラデント 移行 設計 (7.2-4.5×10−6/°C 調節可能)

Q: 最大処理可能な寸法?
A: 現在の技術制限は500×500×100mm (特別なツールが必要です)

Q: 導電の変更はサポートされていますか?
A: 表面抵抗104~1010Ωを備えた,カスタマイズ可能な反静的バージョン

Q: ウェーファーレベルでの清潔さはどのように保証されますか?
A: VHP (蒸発した水素過酸化物) で 終末 滅菌

 

 

精密測定機器および産業検査用断熱性能アルミナセラミックベース