製品詳細
Place of Origin: Made In China
ブランド名: Dayoo
支払いと送料の条件
Functionality: |
Multi-purpose |
Operating System: |
Compatible with various systems |
Flexibility: |
High |
Printing Technology: |
3D Printing |
Durability: |
High |
Power Source: |
Electricity |
Precision: |
High |
Arm Length: |
Adjustable |
Speed: |
Fast |
Weight: |
Lightweight |
Control Method: |
Robotic |
Material: |
Ceramic |
Color: |
White |
Design: |
Sleek and modern |
Functionality: |
Multi-purpose |
Operating System: |
Compatible with various systems |
Flexibility: |
High |
Printing Technology: |
3D Printing |
Durability: |
High |
Power Source: |
Electricity |
Precision: |
High |
Arm Length: |
Adjustable |
Speed: |
Fast |
Weight: |
Lightweight |
Control Method: |
Robotic |
Material: |
Ceramic |
Color: |
White |
Design: |
Sleek and modern |
3Dプリントされたアルミナセラミックロボットアームは、特に半導体製造、ウェーハハンドリング、自動生産向けに設計された高性能自動化ソリューションです。DLP/SLA 3Dプリンティング技術を使用して、99.9%の高純度アルミナセラミック（Al₂O₃）から単一の統合コンポーネントとして製造されています。超高硬度、耐熱性、耐食性、低熱膨張係数などの優れた特性を備えており、真空環境、過酷な化学的条件、高温プロセスに最適で、ウェーハハンドリング用途において高い清浄度と安定性を保証します。
主な用途
✓ 半導体ウェーハハンドリング: 12インチウェーハ
自動生産ラインエッチング＆堆積装置: PVD/CVDプロセス用プラズマ耐性
✓
自動生産ライン: 300℃以上での連続運転
✓
自動生産ライン: 生産性向上のためのエンドオブアームツーリング（EOAT）との互換性競争上の優位性
| 従来の金属アーム | 3Dプリントセラミックアーム | 耐食性 |
|---|---|---|
| 酸/アルカリに弱い | pH 1～14の環境に耐える | 熱安定性 |
| 200℃以上で変形 | 300℃以上で安定 | 重量 |
| 重い（鉄鋼構造） | 軽量（密度3.9g/cm³） | 清浄度 |
| 金属粒子汚染 | 粒子排出ゼロ、SEMI準拠 | 技術仕様 |
: ≥99.9% Al₂O₃印刷技術
: DLP光重合（±20μm精度）ペイロード容量
: 5kg（標準）/10kg（高耐久性）再現性
: ±0.01mmの位置決め精度温度範囲
: -50℃～300℃表面粗さ
: Ra≤0.1μm（0.05μmまで研磨可能）真空適合性
: 統合エアチャネル（0.5μmろ過）製造プロセス
: CAD設計+ウェーハハンドリングパスシミュレーションスラリー調製
: ナノアルミナ+光重合樹脂混合物（固形分55～58%）DLP印刷
: 層ごとの硬化（20μm厚）高温焼結
: 1650℃での緻密化（117～122%の収縮補正）精密機械加工
: レーザートリミング+CNC研削（±0.02mmの平面度）品質管理
: X線検査+リークテスト操作説明
重要な注意点:初回使用前にオートクレーブ滅菌（121℃）
フッ化水素酸（HF）への暴露を避ける
毎月のジョイント検査
摩耗と真空の完全性についてウェーハの損傷を防ぐためにセラミックエンドエフェクタを使用する
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