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Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
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半導体エッチング装置用高純度アルミナセラミックシールドリング | 真空チャンバー保護リング、カスタムサイズ、高耐熱性

製品詳細

起源の場所: 中国製、浙江省、金華省

ブランド名: Dayoo

証明: GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015

モデル番号: 実際の製品に依存します

支払いと送料の条件

最小注文数量: 交渉され合意されたとおり

価格: as negotiated and agreed

パッケージの詳細: カートン、木箱

受渡し時間: 実際の製品に依存します

支払条件: FOB

供給の能力: 工場

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ハイライト:

アルミナセラミックシールドリング

,

半導体エッチング用セラミックリング

,

高耐熱性アルミナリング

体積抵抗率:
10^14Ω・cm
熱膨張係数:
7~8×10^-6/℃
機械的強度:
非常に高い
破壊靱性:
3~4MPa・m^0.5
絶縁耐力:
10~15kV/mm
かさ密度:
> 3.63
最大使用温度:
1700℃
曲げ強度:
200〜400 MPa
低誘電損失:
0.0002
アプリケーション:
電気絶縁体、摩耗部品、切削工具、医療機器
化学組成:
Al2O3 (アルミ酸化物)
最大動作温度:
1700°C
電気絶縁:
高い
純度:
通常 95% ~ 99.9%
温度耐性:
最大1600°C
体積抵抗率:
10^14Ω・cm
熱膨張係数:
7~8×10^-6/℃
機械的強度:
非常に高い
破壊靱性:
3~4MPa・m^0.5
絶縁耐力:
10~15kV/mm
かさ密度:
> 3.63
最大使用温度:
1700℃
曲げ強度:
200〜400 MPa
低誘電損失:
0.0002
アプリケーション:
電気絶縁体、摩耗部品、切削工具、医療機器
化学組成:
Al2O3 (アルミ酸化物)
最大動作温度:
1700°C
電気絶縁:
高い
純度:
通常 95% ~ 99.9%
温度耐性:
最大1600°C
半導体エッチング装置用高純度アルミナセラミックシールドリング | 真空チャンバー保護リング、カスタムサイズ、高耐熱性
高純度アルミナセラミックシールドリング

アルミナセラミックシールドリングは,高純度アルミナ (Al2O3含有量95%~99.99%) から製造された高性能環状保護部品である.この象牙色の白かベージュ黄色な部品は,密集した質感と高い表面仕上げを持っています防護,隔離,サポート,および隔離機能を様々な機器アプリケーションで提供するように設計されています.

主要用途
適用分野 特殊用途
半導体製造 エッチング 装置 室内 保護 プラズマ 爆撃 障害 堆積 プロセス マスク
バキュームコーティング装置 熱器や受容器を取り巻く保護環,スプートリングプロセスの防落シールド
エレクトロニクスと電気 高電圧隔熱シールドリング,電子部品の保護套,真空透熱隔熱器
化学と金属工学 原子炉内膜保護,高温炉の支柱,耐腐蝕管カバー
メカニカルシール パンプとバルブシールシールドリング,ベアリング保護リング,耐磨部品のブッシング
主要 な 利点
  • プラズマ爆撃,化学腐食,機械的磨損に対する優れた保護性能
  • 超高硬さと耐磨性 (モース硬度9)
  • 熱安定性 1750~1800°Cまでの最大動作温度
  • 優れた電気隔熱 (体積抵抗 >1×1014 Ω*cm)
  • 優れた化学的安定性 酸やアルカリの腐食に耐える
  • マイクロンレベルの許容値で正確な寸法制御
  • 無毒で環境に優しい材料
テクニカル仕様
パラメータ 典型的な値/範囲 コメント
アルミニウム含有量 95%~99.99% 要求に応じて調整可能
散布密度 3.64 - 3.98g/cm3 純度が上がる
折りたたみ力 310〜380MPa 500MPa以上まで
圧縮力 2550〜3500 MPa 負荷の負荷能力が非常に高い
硬さ 14〜30 GPa (≈1440〜3060 kg/mm2) 純度が上がる
介電力強度 16.9 - 24kV/mm 優れた電気安全性能
容積抵抗性 >1×1014 Ω*cm 室温では非常に高い
熱膨張係数 7.2 - 8.4 ×10−6 /°C (20〜1000°C) 良好な寸法安定性
熱伝導性 32 - 42 W/m*K 純度が上がる
最大動作温度 1600〜1800 °C 負荷がない状態で
熱ショック耐性 220〜320 °C 温度変化に耐える
水吸収 0% 完全に密集し,好気密度
外部 寸法 OD 50~500mm 厚さ 5~50mm 図面に従って調整できる
製造プロセス
  1. 原材料の調製:高純度アルミニウム粉末のボール磨きと混合
  2. 鋳造 プロセス: ドライプレス,イソスタティックプレス,熱プレス 鋳造
  3. グリーンボディ加工: 加工を許容した鋳造後のトリミング
  4. 高温シンタリング: 1600~1700°Cで圧力なしのシンタリング
  5. 精密加工:ダイヤモンド磨材を用いた磨きとラッピング
  6. 品質検査:全次元および性能試験
  7. 清掃と包装:真空またはクリーンルームの包装
設置と使用ガイドライン
設置注意事項:
  • 設置の方向性と位置位置を確認する
  • 正式な設置前に試験組成を行う
  • 操作する際には,柔らかいパッドや手袋を使用してください.
  • 接触面がクリーンで,粒子がないことを確保する
  • 干渉フィットのための縮小フィット組を考慮
販売後サービス
  • 尺寸,純度,許容度に関するカスタマイズサービス
  • 専門的な技術コンサルティングと設計指導
  • 材料報告書を含む輸送前の100%の検査
  • 顧客の問題に24時間対応
  • 厳格なパッチ対パッチ一貫性管理
  • 研究開発と試験生産のための小批量支援
よく 聞かれる 質問
Q1: アルミナセラミックシールドリングと普通のセラミックリングの違いは何ですか?
A: シールドリングは,正確な位置付け表面,ステップ構造,厳格に制御されたフィット寸法で,毎回の交換で正確なリセットを保証.
Q2: 製品はどの温度に耐えるか? 熱衝撃耐性は?
A: 高純度アルミナガスの最大動作温度は1750~1800°C. 熱衝撃耐性は約220~320°C.500°Cの温度差で熱ショック試験に耐える.
Q3: シールドリングが達成できる寸法精度は?
A: 標準製品では,外径と内径の許容量は ±0.05mm. 精密磨削では,同心度と平行性が0.02mm以内に制御され,最大で ±0.01mmの許容量を達成できます.
Q4: セラミックシールドリングは壊れやすいですか? 設置中に注意すべきことは何ですか?
A: アルミナセラミックは硬さが高いが,少し脆い. 設置中にハムリング,落下,または強制ハムリングを避ける. 収縮型アセンブリまたは柔軟なガスケットを使用します.手袋を着用してください..
Q5: シールドリングは清掃後に再利用できますか?
A: はい,表面に裂け目や破片がない限りです.各清掃サイクルの後,重要な寸法と表面状態を検査してください.
Q6: テストのためにサンプルを提供していますか? 最小注文量はどのくらいですか?
A: テストと検証のために小批量サンプルが用意されています. 批量注文の最低注文量は,製品サイズに基づいて交渉可能で,研究開発要件に特別なサポートがあります.
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