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Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
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半導体エッチング装置用高純度アルミナセラミックシールドリング | 真空チャンバー保護リング、カスタムサイズ、高耐熱性

製品詳細

起源の場所: 中国製、浙江省、金華省

ブランド名: Dayoo

証明: GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015

モデル番号: 実際の製品に依存します

支払いと送料の条件

最小注文数量: 交渉され合意されたとおり

価格: as negotiated and agreed

パッケージの詳細: カートン、木箱

受渡し時間: 実際の製品に依存します

支払条件: FOB

供給の能力: 工場

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ハイライト:

アルミナセラミックシールドリング

,

半導体エッチング用セラミックリング

,

高耐熱性アルミナリング

体積抵抗率:
10^14Ω・cm
熱膨張係数:
7~8×10^-6/℃
機械的強度:
非常に高い
破壊靱性:
3~4MPa・m^0.5
絶縁耐力:
10~15kV/mm
かさ密度:
> 3.63
最大使用温度:
1700℃
曲げ強度:
200〜400 MPa
低誘電損失:
0.0002
アプリケーション:
電気絶縁体、摩耗部品、切削工具、医療機器
化学組成:
Al2O3 (アルミ酸化物)
最大動作温度:
1700°C
電気絶縁:
高い
純度:
通常 95% ~ 99.9%
温度耐性:
最大1600°C
体積抵抗率:
10^14Ω・cm
熱膨張係数:
7~8×10^-6/℃
機械的強度:
非常に高い
破壊靱性:
3~4MPa・m^0.5
絶縁耐力:
10~15kV/mm
かさ密度:
> 3.63
最大使用温度:
1700℃
曲げ強度:
200〜400 MPa
低誘電損失:
0.0002
アプリケーション:
電気絶縁体、摩耗部品、切削工具、医療機器
化学組成:
Al2O3 (アルミ酸化物)
最大動作温度:
1700°C
電気絶縁:
高い
純度:
通常 95% ~ 99.9%
温度耐性:
最大1600°C
半導体エッチング装置用高純度アルミナセラミックシールドリング | 真空チャンバー保護リング、カスタムサイズ、高耐熱性
高純度アルミナセラミックシールドリング

アルミナセラミックシールドリングは、高純度アルミナ(Al₂O₃含有量95%-99.99%)から製造される高性能な環状保護部品です。象牙色またはベージュ黄色のこれらの部品は、緻密な組織と高い表面仕上げを特徴とし、様々な機器用途において保護、隔離、支持、絶縁機能を提供するように設計されています。

主な用途
応用分野 具体的な用途
半導体製造 エッチング装置チャンバー保護、プラズマ照射バリア、成膜プロセスマスク
真空成膜装置 ヒーターおよびサセプター周囲の保護リング、スパッタリングプロセスにおけるアンチデポジションシールド
エレクトロニクスおよび電気分野 高電圧絶縁シールドリング、電子部品保護スリーブ、真空フィードスルー絶縁体
化学および冶金分野 リアクターライナー保護、高温炉サポート、耐食性パイプスリーブ
メカニカルシール ポンプおよびバルブシールシールドリング、ベアリング保護リング、耐摩耗部品ブッシング
コアメリット
  • プラズマ照射、化学腐食、機械的摩耗に対する優れた保護性能
  • 超高硬度および耐摩耗性(モース硬度9)
  • 優れた熱安定性、最大使用温度1750-1800℃
  • 卓越した電気絶縁性(体積抵抗率 >1×10¹⁴ Ω*cm)
  • 酸およびアルカリ腐食に対する優れた化学的安定性
  • ミクロンレベルの公差による精密な寸法制御
  • 無毒で環境に優しい素材
技術仕様
パラメータ 代表値/範囲 備考
アルミナ含有量 95% - 99.99% 要求に応じてカスタマイズ可能
バルク密度 3.64 - 3.98 g/cm³ 純度とともに増加
曲げ強度 310 - 380 MPa 500MPa以上まで対応可能
圧縮強度 2550 - 3500 MPa 非常に高い耐荷重能力
硬度 14 - 30 GPa (≈1440-3060 kg/mm²) 純度とともに増加
絶縁破壊強度 16.9 - 24 kV/mm 優れた電気安全性能
体積抵抗率 >1×10¹⁴ Ω*cm 室温で非常に高い
熱膨張係数 7.2 - 8.4 ×10⁻⁶ /℃ (20-1000℃) 良好な寸法安定性
熱伝導率 32 - 42 W/m*K 純度とともに増加
最高使用温度 1600 - 1800 ℃ 無負荷条件
耐熱衝撃性 220 - 320 ℃ 急激な温度変化に耐える
吸水率 0% 完全緻密、良好な気密性
外形寸法 外径 50-500mm、厚さ 5-50mm 図面に応じてカスタマイズ可能
製造プロセス
  1. 原料準備:高純度アルミナ粉末のボールミルおよび混合
  2. 成形プロセス:乾式プレス、等方性プレス、またはホットプレス鋳造
  3. グリーンボディ加工:成形後の機械加工代を残したトリミング
  4. 高温焼結:1600-1700℃での無加圧焼結
  5. 精密加工:ダイヤモンド研磨材を使用した研削およびラップ加工
  6. 品質検査:全寸法および性能試験
  7. 洗浄および梱包:真空またはクリーンルーム梱包
設置および使用ガイドライン
設置上の注意:
  • 設置方向と位置決め面を確認する
  • 正式な設置前に試運転を行う
  • 取り扱い時は柔らかいパッドまたは手袋を使用する
  • 清浄な接触面を確認し、粒子が付着していないことを確認する
  • はめあい公差の場合は、収縮フィットによる組み立てを検討する
アフターサービス
  • 寸法、純度、公差のカスタマイズサービス
  • 専門的な技術相談および設計ガイダンス
  • 出荷前の100%検査と材料レポート
  • 顧客からの問い合わせに対する24時間以内の対応
  • 厳格なロット間の一貫性管理
  • 研究開発および試作のための小ロットサポート
よくある質問
Q1:アルミナセラミックシールドリングと一般的なセラミックリングの違いは何ですか?
A:シールドリングは、保護機能に特化しており、正確な位置決め面、段差構造、および厳密に管理された嵌合寸法を備えており、交換時の正確な復元を保証します。
Q2:製品はどのくらいの温度に耐えられますか?耐熱衝撃性はどの程度ですか?
A:高純度アルミナの最高使用温度は1750-1800℃に達します。耐熱衝撃性は約220-320℃であり、500℃の温度差を持つ熱衝撃試験に耐えることができます。
Q3:シールドリングはどの程度の寸法精度を達成できますか?
A:標準製品は、外径および内径の公差を±0.05mmで達成します。精密研削により、公差を±0.01mmまで、同心度および平行度を0.02mm以内に制御できます。
Q4:セラミックシールドリングは壊れやすいですか?設置時に注意すべき点は何ですか?
A:アルミナセラミックは硬度が高いですが、ある程度の脆性があります。設置時にハンマーで叩く、落とす、無理に押し込むことは避けてください。収縮フィットまたは柔軟なガスケットを使用し、取り扱い時は手袋を着用してください。
Q5:洗浄後、シールドリングは再利用できますか?
A:はい、表面に亀裂や欠けがない限り再利用できます。各洗浄サイクル後に、重要な寸法と表面の状態を検査してください。
Q6:テスト用のサンプルは提供されますか?最小注文数量は?
A:小ロットのサンプルは、テストおよび検証のために利用可能です。ロット注文の最小注文数量は、製品サイズに基づいて交渉可能であり、研究開発の要件に対して特別なサポートを提供します。